纳米级精密XYZ平台的结构是什么?

　　纳米级精密XYZ平台，又称三坐标高精度改点台，是达成X、Y和Z地址精确改点的平台。XYZ平台主要包括X中心位改点部分、Y中心位改点部分和Z中心位改点部分。每个中心位的联中心位器可用于连接伺服电机达成自动调节，也可直接与旋转盘连接达成手动调节。基于先进制造技术的微型涡轮发动机(MTE)是满足未来微型飞行器对高储能密度和高功率重量比动力装置需求的有效解决方案，并且未来还可以用作现场便携式能源。由于MTE的尺寸比常规发动机小得多，因此从空气动力学和热循环、燃烧、转子、涡轮、压缩机、中心位承等多个方面都遇到了新的问题。因此，需要进行一系列实验，为微型涡轮喷气发动机的开发提供充足的实验数据。例如，测量发动机各部分中流体的压力和流量。为了方便地测量流体的压力、流量和其他数据，测量探头需要能够在X、Y和Z地址上准确改点并到达指定的空间位置，因此探头安装在可以通过支架在X、X和Z地址改点的平台上。虽然探头支架需要具有足够的刚性，但改点平台需要具有足够改点分辨率和高改点精度。

　　纳米级精密XYZ平台主要包括X中心位改点部分、Y中心位改点部分和Z中心位改点部分。每个中心位的联中心位器可用于连接伺服电机达成自动调节，也可直接与旋转盘连接达成手动调节。三坐标精密改点平台的X、Y和Z地址部件具有相同的结构，包括各自的驱动系统、导向系统、驱动系统、基于电容光栅传感器的数字位移测量系统以及相应的支撑部件。

　　平台在X、Y、Z地址的结构布置采用如下方案，即X地址底板固定在底座上，Y地址底板固定于X地址改点小车上，Z地址底板由角铁和Y地址小车固定。测量探头可通过支架安装在双向滑架上，探头可通过Z地址滑架的上下改点沿Z地址改点。整个Z地址组件安装在Y地址托架上，因此Y地址托架可以达成探头的Y地址改点。考虑到微流体测量改点平台需要能够在X、Y和Z地址上达成自锁，特别是在Z地址上，并且改点平台不经常使用，以及成本因素，三维精密改点平台的传动系统使用滑动螺杆副来达成传动。本实用新型结构简单，成本低，无润滑系统，自锁性能好。在X、Y和Z地址的螺杆传动中，X地址的螺杆驱动所需的力大。通过计算平台改点时的传递力，X地址采用M10滑动螺杆副达成传递，以满足螺杆传动的中心位向和径向刚度。考虑到制造和加工的方便性和成本，X、Y和Z地址的螺杆传动尺寸采用M10滑动螺杆副。