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光刻机用XY平台推荐
产品编号
产品描述
参数
中等精度直线电机XY平台 LMT128-XY100-ER05-XMU
主要特征：
1. 三相无铁芯直线电机驱动，零回差
2、进口交叉滚柱导轨，防爬行
3、5nm（4.88nm）分辨率光栅
4、包含精密花岗岩底座，确保优秀的直线度及平面度
5、材质：航空级铝合金6061-T6
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