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XYR对位平台
产品编号
产品描述
参数
紧凑型XYR对位平台
三轴精密直驱精密对位平台
采用直线电机驱动
全闭环机构
操作简单，可靠性远高于通过拟合运动的直线对位平台
主要参数：
XY有效行程：±110mm
R轴有效形成：±5°
XY轴分辨率：0.5um
XY轴最小步长：1um
R轴分辨率：1.5sec
R轴重复定位精度：≤±5sec
外形尺寸：
无需算法控制，XYR直接调节
使用寿命高达：5年
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