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三镜头模组
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三镜头模组

高精密镜头切换模组，用于半导体检测设备不同倍率的镜头切换。
负载2kg, 最大速度200mm/s，重复精度+/-0.2um，行程110mm，光栅分辨率0.1um, 电机持续推力10N.
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