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德国ATTOCUBE 三通道激光干涉仪
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德国ATTOCUBE 三通道激光干涉仪

我司所有测量数据皆依照国标GB/T17421 或者ISO230-2对设备的
出厂指标进行测试，主要测试指标如下：
• 定位精度（必检）
• 重复定位精度（必检）
• YY or ZZ（运动平面度） 直线度
• PITCH（俯仰）/YAW（偏摆）/ROLL（滚动）
• 最大速度
• 速度波动等
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