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直线电机显微镜平移台

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气浮转台及高精度气浮直线电机平台
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配置，XY平台，电机NPM-S120D-120ST-L234-HA/S080T-190SY-L265-HA,导轨国外进口交叉导轨（NB/IKO/THK/WON/瑞士施耐博格任何一款）雷尼绍读数头ATOM4T0-100/细分盒RI0400A12B、光栅尺RTLF40-S.Z轴音圈电机光栅雷尼绍ATOM 0.1um分辨率,导轨WON，驱动器美国COPLEY一拖三驱动器。

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