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超精密气浮运动台
产品编号
产品描述
参数
XY直线电机运动平台光栅分辨率sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）持续220N 峰值440N推力，空载加速度3-4.5g,重复定位精度±0.5um,定位精度±0.5um,平面度±1um最大速度500mm/s
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