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非标定制3-XY载物平台

产品编号
所属分类：
显微镜直线电机XYZ平台
1
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产品描述
参数

XY载物平台光栅分辨率0.1um,重复定位精度≤正负0.3um,定位精度≤正负1um,最大速度≤500mm/s,空载最大加速度≤1G

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